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2021-06-17
真空镀膜行业氩气流量大小如何控制
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热式气体质量流量控制器(MFC),里面有个温度传感器和速度传感器,流量大小通过高性能比例电磁阀,通过0-5V电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小.



通过真空镀膜行业的一些客户了解到 ,一般使用的都是微小流量的MFC,集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN



进口压力:最大1Mpa 正常工作压力:0.5Mpa MFC不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度,响应时间快1秒达到设定值



一般MFC都是以氮气标定的,如客户需要的是测量Ar流量,出厂时,厂家就按氩气标定好,也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数