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LKO2系列 气体质量流量控制器

美国ALICAT
LKO2系列质量流量控制器-OEM

 

美国ALICAT-LKO2系列质量流量控制器为用户提供

可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为OEM

设备集成而设计的LKO2轻便灵巧、内置高精度MEMS

传感器,适合各类小型设备配套使用

 

LKO2质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、

多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目

设计提供更大的灵活性。

性能参数

性能/参数

LKO2系列质量流量控制器-OEM

流量范围

0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM

标定气体

内置7条气体可选择

精度(调零后)

±(1.5%Rd+0.5%FS)

重复性

±0.5%Rd

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范围

1-100%

响应时间

100毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25ºC & 14.696 psia

工作温度范围

0~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-90%RH(非冷凝)

耐压

10Bar

进口工作压力

4Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS不锈钢、密封圈VITON

数字信号

RS485(ACSII、MODBUS-RTU)

模拟信号

标准0-5V 选配:4-20mA

电气接口

标准DB9

供电电压

+24VDC,200mA

电气连接

针脚/颜色

定义

1

2

3

RS485-

4

模拟信号输入

5

RS485+

6

模拟信号输出

7

电源+24VDC

8

电源地

9

模拟信号和通讯COM端


压损、管路接口

流量

压损(PSID)排放大气中

接口

100SCCM

10mbar

1/8NPT

100SCCM

10mbar

20SLPM

350mbar

3/8NPT

50SLPM

500mbar


使用注意

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干净《不能进水/油、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:在使用质量流量控制器的时候,进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。

四:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

五:通气体时,请先开气源,后设定值。

六:切勿在没有通气的情况下,对流量控制器进行设定。

七:使用完以后,请将流量控制器值归零或断电。